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　　ICP光譜儀低溫干灰化法又稱氧等離子灰化法或低溫干灰化，是用電激發的氧分解生物試料的專用低溫灰化器，在相對溫度比較低的情況下灰化，其揮發速度和等離子的流速、時間、功率和試的體積有關，其裝置由消化室、供應系統、真空系統和高頻電源組成。

　　其原理是：氧受高頻出頻電場激發產生的氧等離子體具有很強的氧化能力，使試料在(100~150)℃，有時市也在（60~70)℃下緩慢氧化，除去有機物，金屬元素留在灰分中。該方法解決了高溫干灰化頭公期說發、滯留和吸附而損失痕量元素等問題，但是用該法灰化銀、金、汞、鹵素等元素損失依然嚴重，消化時間因試料而定，一般需要(4~8)h。

　　該技術主要優點是：有些元素Se As sb,pb、cd等較易揮發元素在低溫灰化期間依然留在殘渣里，解決了因污染和揮發損失以及濕法灰化中的某些不安全性；試料被金屬污染的概率很小，回收率高。比如測定動物組織中的鈹、鎘和碲等易揮發元素及糖和面粉等試料的前處理就是采用這種低溫干灰化法。