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ICP光譜儀點火長時間熄火的現象是指光譜儀在運行中啟動點火程序后，等離子炬“燃燒”后，燃燒30min以上自行熄火，熄火的原因有兩種：
（1）ICP光譜儀本身維持和儀器認為有危險而關閉ICP光譜儀，稱為保護性熄火。
（2）等離子體不能維持。出現這種現象首先要看計算機屏幕是否有對話框提示，根據對話框提示來判斷是那哪方式的熄火；沒有提示繼續采用聽、看和摸等感官感應鎖發生的現象來判定故障部位。等離子體不能維持說明離子體比較弱，低功率與高負載都易導致滅火，檢查RF功率（通過IP）和使用低鹽類樣品可幫助判斷是否存在以上可能，不良的調諧有時也會導致滅火，但很多發生在樣品切換時，需要加以注意。造成這種原因的主要問題如下：
①檢查氣體是否被耗費完，如果耗完，請立即更換高純氬氣，為了保護固態檢測器的安全，2h后再點火。
②看氣壓表和流量計是否正常。
③如果排風系統排風不暢或不連續，等離子炬區域的熱量無法及時排除，出現積聚，影響等離子炬的穩定，也會造成等離子炬熄火。
④進樣系統突然漏氣或者突然堵塞也會造成熄火。
⑤如果低功率與高負載（有機溶液、高鹽溶液）測定樣品，也會因為設置參數不匹配造成等離子炬熄火。
⑥ICP光譜儀炬管外圍的銅線圈外壁結垢，管內結構。循環系統滲漏及管道過濾器堵塞等原因導致循環水量不足以及風冷效果不佳（與室溫有直接關系）均會影響循環水冷卻的效果，導致由于冷卻水溫度過高而啟動自動保護裝置熄火
⑦ICP光譜儀等離子體的保護性熄火主要對高壓的保護和對高頻的保護，往往對高壓的保護會有提示，觀察滅火時間對判斷滅火原因很有用。操作員要準確告知維修工程師滅火發生在點燃后的情況，具體說明等離子維持時間在什么范圍。水、排風。門等及過流開關連鎖保護開關損壞也會熄火，應急辦法是把開關進行短路處理后，短時間內對數據測定不會帶來影響，等待光譜儀維修工程師上門維修。
