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     根據現代ICP光譜儀器的工作原理,ICP光譜儀可以分為兩大類:經典ICP光譜儀和新型ICP光譜儀.經典ICP光譜儀器是建立在空間色散原理上的儀器;新型ICP光譜儀器是建立在調制原理上的儀器.經典ICP光譜儀器都是狹縫ICP光譜儀器.調制ICP光譜儀是非空間分光的,它采用圓孔進光.
根據色散組件的分光原理,ICP光譜儀器可分為:棱鏡ICP光譜儀,衍射光柵ICP光譜儀和干涉ICP光譜儀.光學多道分析儀OMA (Optical Multi-channel Analyzer)是近十幾年出現的采用光子探測器(CCD)和計算機控制的新型光譜分析儀器,它集信息采集,處理, 存儲諸功能于一體.由于OMA不再使用感光乳膠,避免和省去了暗室處理以及之后的一系列繁瑣處理,測量工作,使傳統的光譜技術發生了根本的改變,大大改善了工作條件,提高了工作效率;使用OMA分析光譜,測量準確迅速,方便,且靈敏度高,響應時間快,光譜分辨率高,測量結果可立即從顯示屏上讀出或由打印機,繪圖儀輸出。它己被廣泛使用于幾乎所有的光譜測量,分析及研究工作中,特別適應于對微弱信號,瞬變信號的檢測.